| کد# | 511-420 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
| محدوده سفر مرحله ای | 250x150mm |
| بعد محصول | 1003x617x1309mm |
| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| کد# | 512-350 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 355x126mm |
| سفر مرحله کاری | 200x100 میلی متر |
| تمرکز | 90 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 512-400 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 455x126mm |
| سفر مرحله کاری | 300x150mm |
| تمرکز | 120 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 512-400 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 455x126mm |
| سفر مرحله کاری | 300x150mm |
| تمرکز | 120 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 511-410 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
| محدوده سفر مرحله ای | 200x100 میلی متر |
| بعد محصول | 1003x617x1309mm |
| کد# | 511-420 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
| محدوده سفر مرحله ای | 250x150mm |
| بعد محصول | 1003x617x1309mm |
| کد# | 512-400 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 455x126mm |
| سفر مرحله کاری | 300x150mm |
| تمرکز | 120 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 512-350 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 355x126mm |
| سفر مرحله کاری | 200x100 میلی متر |
| تمرکز | 90 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 511-330 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 258x308mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 148x206mm |
| محدوده سفر مرحله ای | 150x100mm |
| بعد محصول | 988x563x1157mm |
