کد# | 512-400 |
---|---|
اندازه مرحله کار | 455x126mm |
سفر مرحله کاری | 300x150mm |
تمرکز | 120 میلی متر |
دقت | ≤3+L/200(um) |
کد# | 512-350 |
---|---|
اندازه مرحله کار | 355x126mm |
سفر مرحله کاری | 200x100 میلی متر |
تمرکز | 90 میلی متر |
دقت | ≤3+L/200(um) |
کد# | 512-400 |
---|---|
اندازه مرحله کار | 455x126mm |
سفر مرحله کاری | 300x150mm |
تمرکز | 120 میلی متر |
دقت | ≤3+L/200(um) |
کد# | 542-310 |
---|---|
سفر مرحله کاری | 355x125mm |
X/Y-Axis Travel | 200x120mm |
محور Z | 110 میلی متر |
دقت اندازه گیری | ≤3+L/200m |
کد# | 511-330 |
---|---|
اندازه استیج فلزی | 258x308mm |
اندازه استیج شیشه ای | 148x206mm |
محدوده سفر مرحله ای | 150x100mm |
بعد محصول | 988x563x1157mm |
کد# | 511-420 |
---|---|
اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
محدوده سفر مرحله ای | 250x150mm |
بعد محصول | 1003x617x1309mm |
کد# | 510-340 |
---|---|
اندازه صفحه نمایش LCD | 115mm×85mm |
وضوح صفحه نمایش LCD | 640*480 |
محور نمایش | 3 محور (X,Y,Z/Q) |
وضوح مقیاس خطی | 0.1um،0.2um،0.5um، 1um،2um،5um |
کد# | 510-340 |
---|---|
اندازه صفحه نمایش LCD | 115mm×85mm |
وضوح صفحه نمایش LCD | 640*480 |
محور نمایش | 3 محور (X,Y,Z/Q) |
وضوح مقیاس خطی | 0.1um،0.2um،0.5um، 1um،2um،5um |
کد# | 511-340 |
---|---|
اندازه استیج فلزی | 258x358mm |
اندازه استیج شیشه ای | 148x256mm |
محدوده سفر مرحله ای | 200x100 میلی متر |
بعد محصول | 988x563x1157mm |
کد# | 511-410 |
---|---|
اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
محدوده سفر مرحله ای | 200x100 میلی متر |
بعد محصول | 1003x617x1309mm |