| کد# | 525-020DP |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| مرحله شیشه | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور x/y | (150*100) میلی متر |
| مقیاسهای خطی | وضوح: 0.5um |
| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| مرحله شیشه | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور x/y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| کد# | 512-350 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 355x126mm |
| سفر مرحله کار | 200x100 میلی متر |
| متمرکز | 90 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 542-310 |
|---|---|
| سفر مرحله کار | 355x125mm |
| سفر محور x/y | 200x120mm |
| محور Z | 110 میلی متر |
| دقت اندازه گیری | ≤3+L/200um |
| کد# | 542-310 |
|---|---|
| سفر مرحله کار | 355x125mm |
| سفر محور x/y | 200x120mm |
| محور Z | 110 میلی متر |
| دقت اندازه گیری | ≤3+L/200um |