| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| کد# | 512-350 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 355x126mm |
| سفر مرحله کاری | 200x100 میلی متر |
| تمرکز | 90 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
