| کد# | 512-400 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 455x126mm |
| سفر مرحله کاری | 300x150mm |
| تمرکز | 120 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 512-400 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 455x126mm |
| سفر مرحله کاری | 300x150mm |
| تمرکز | 120 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 512-350 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 355x126mm |
| سفر مرحله کاری | 200x100 میلی متر |
| تمرکز | 90 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |