کد# | 512-400 |
---|---|
اندازه مرحله کار | 455x126mm |
سفر مرحله کاری | 300x150mm |
تمرکز | 120 میلی متر |
دقت | ≤3+L/200(um) |
کد# | 512-350 |
---|---|
اندازه مرحله کار | 355x126mm |
سفر مرحله کاری | 200x100 میلی متر |
تمرکز | 90 میلی متر |
دقت | ≤3+L/200(um) |
کد# | 512-400 |
---|---|
اندازه مرحله کار | 455x126mm |
سفر مرحله کاری | 300x150mm |
تمرکز | 120 میلی متر |
دقت | ≤3+L/200(um) |