| کد# | 522-280 گرم |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (300*200) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | 0.1 میلی متر |
| دقت محور XY | ≤1.8+L/200(um) |
| کد# | 522-420 گرم |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (300*200) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | 0.5 میلی متر |
| دقت محور XY | ≤2.0+L/200(um) |
| کد# | 524-220H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| تکرار | 2 میلی متر |
| کد# | 524-220H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| تکرار | 2 میلی متر |
