| کد# | 542-310 |
|---|---|
| سفر مرحله کاری | 355x125mm |
| X/Y-Axis Travel | 200x120mm |
| محور Z | 110 میلی متر |
| دقت اندازه گیری | ≤3+L/200m |
| کد# | 542-310 |
|---|---|
| سفر مرحله کاری | 355x125mm |
| X/Y-Axis Travel | 200x120mm |
| محور Z | 110 میلی متر |
| دقت اندازه گیری | ≤3+L/200m |
| کد# | 521-420J |
|---|---|
| میز کار مرمر | (650*580) میلی متر |
| میز کار شیشه ای | (540*440) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (500*400) میلی متر |
| Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
| کد# | 523-180M |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (1500*1200) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| دقت محور XY | ≤3.0+L/200(um) |
| کد# | ۵۲۸-۱۸۰H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (300*400) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | رزولوشن: 0.1mm |
| دقت محور XY | ≤1.2+L/200 ((um) |
| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| کد# | 524-220H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| تکرار | 2 میلی متر |
| کد# | 523-280 هزار |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (600*500) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| دقت محور XY | ≤1.8+L/200(um) |
| کد# | ۵۲۸-۱۸۰H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (300*400) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | رزولوشن: 0.1mm |
| دقت محور XY | ≤1.2+L/200 ((um) |
