| کد# | 525-020EP |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (390*220) میلی متر |
| مرحله شیشه | (229.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور x/y | (200*100) میلی متر |
| مقیاسهای خطی | وضوح: 0.5um |
| کد# | 525-020GP |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (505*350) میلی متر |
| مرحله شیشه | (356*248) میلی متر |
| سفر محور x/y | (300*200) میلی متر |
| مقیاسهای خطی | وضوح: 0.5um |
| کد# | 525-020DP |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| مرحله شیشه | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور x/y | (150*100) میلی متر |
| مقیاسهای خطی | وضوح: 0.5um |