| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| کد# | 502-120 گرم |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (300*200) میلی متر |
| ابعاد (WxDxH) | (1237*740*1664) میلی متر |
| وزن | 380 کیلوگرم |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| کد# | 529-120 گرم |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (300*200) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| دقت محور XY | ≤2.5+L/200(um) |