| کد# | 525-180X |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (500*1600) میلی متر |
| Z Axis Travel | ۳۰۰ میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| حالت هدایت | ریل راهنمای خطی دقیق |
| کد# | 525-380 هزار |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (500*500) میلی متر |
| Z Axis Travel | ۳۰۰ میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| حالت هدایت | ریل راهنمای خطی دقیق |
| کد# | 523-280N |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (1200*1000) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| دقت محور XY | ≤2.5+L/200(um) |
