| کد# | 523-280 لیتر |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (800*600) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| دقت محور XY | ≤1.8+L/200(um) |
| کد# | ۵۲۸-۱۸۰H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (300*400) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | رزولوشن: 0.1mm |
| دقت محور XY | ≤1.2+L/200 ((um) |