| کد# | 512-400 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 455x126mm |
| سفر مرحله کاری | 300x150mm |
| تمرکز | 120 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 512-400 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 455x126mm |
| سفر مرحله کاری | 300x150mm |
| تمرکز | 120 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 512-400 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 455x126mm |
| سفر مرحله کاری | 300x150mm |
| تمرکز | 120 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 511-420 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
| محدوده سفر مرحله ای | 250x150mm |
| بعد محصول | 1003x617x1309mm |
| کد# | 511-330 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 258x308mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 148x206mm |
| محدوده سفر مرحله ای | 150x100mm |
| بعد محصول | 988x563x1157mm |
| کد# | 510-340 |
|---|---|
| اندازه صفحه نمایش LCD | 115mm×85mm |
| وضوح صفحه نمایش LCD | 640*480 |
| محور نمایش | 3 محور (X,Y,Z/Q) |
| وضوح مقیاس خطی | 0.1um،0.2um،0.5um، 1um،2um،5um |
| کد# | 511-410 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
| محدوده سفر مرحله ای | 200x100 میلی متر |
| بعد محصول | 1003x617x1309mm |
| کد# | 511-420 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
| محدوده سفر مرحله ای | 250x150mm |
| بعد محصول | 1003x617x1309mm |
| کد# | 512-350 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 355x126mm |
| سفر مرحله کاری | 200x100 میلی متر |
| تمرکز | 90 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 512-350 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 355x126mm |
| سفر مرحله کاری | 200x100 میلی متر |
| تمرکز | 90 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
