کد# | 521-320H |
---|---|
میز کار مرمر | (608*470) میلی متر |
میز کار شیشه ای | (456*348) میلی متر |
سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
کد# | 525-020P |
---|---|
مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |