| کد# | 511-330 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 258x308mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 148x206mm |
| محدوده سفر مرحله ای | 150x100mm |
| بعد محصول | 988x563x1157mm |
| کد# | 511-340 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 258x358mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 148x256mm |
| محدوده سفر مرحله ای | 200x100 میلی متر |
| بعد محصول | 988x563x1157mm |
| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| کد# | 510-340 |
|---|---|
| اندازه صفحه نمایش LCD | 115mm×85mm |
| وضوح صفحه نمایش LCD | 640*480 |
| محور نمایش | 3 محور (X,Y,Z/Q) |
| وضوح مقیاس خطی | 0.1um،0.2um،0.5um، 1um،2um،5um |
| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
