| کد# | 524-220H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| تکرار | 2 میلی متر |
| کد# | 524-220H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| تکرار | 2 میلی متر |
| کد# | 523-180M |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (1000*800) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| دقت محور XY | ≤2.0+L/200(um) |
| کد# | 523-180M |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (1500*1200) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| دقت محور XY | ≤3.0+L/200(um) |
| کد# | 523-280N |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (1200*1000) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| دقت محور XY | ≤2.5+L/200(um) |
