| کد# | 511-420 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
| محدوده سفر مرحله ای | 250x150mm |
| بعد محصول | 1003x617x1309mm |
| کد# | 511-410 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
| محدوده سفر مرحله ای | 200x100 میلی متر |
| بعد محصول | 1003x617x1309mm |
| کد# | 511-420 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 308x408mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 198x306 میلی متر |
| محدوده سفر مرحله ای | 250x150mm |
| بعد محصول | 1003x617x1309mm |
| کد# | 511-330 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 258x308mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 148x206mm |
| محدوده سفر مرحله ای | 150x100mm |
| بعد محصول | 988x563x1157mm |
| کد# | 511-330 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 258x308mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 148x206mm |
| محدوده سفر مرحله ای | 150x100mm |
| بعد محصول | 988x563x1157mm |
| کد# | 511-340 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 258x358mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 148x256mm |
| محدوده سفر مرحله ای | 200x100 میلی متر |
| بعد محصول | 988x563x1157mm |
| کد# | 525-180N |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (1000*1000) میلی متر |
| Z Axis Travel | ۳۰۰ میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| حالت هدایت | ریل راهنمای خطی دقیق |
| کد# | 525-180X |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (500*1600) میلی متر |
| Z Axis Travel | ۳۰۰ میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| حالت هدایت | ریل راهنمای خطی دقیق |
| کد# | ۵۲۸-۱۸۰H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (300*400) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | رزولوشن: 0.1mm |
| دقت محور XY | ≤1.2+L/200 ((um) |
| کد# | 523-280 هزار |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (600*500) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| دقت محور XY | ≤1.8+L/200(um) |
