| کد# | 521-320H |
|---|---|
| میز کار مرمر | (608*470) میلی متر |
| میز کار شیشه ای | (456*348) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
| کد# | 523-480 لیتر |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (800*600) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| دقت محور XY | ≤1.8+L/200(um) |