| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| کد# | 542-310 |
|---|---|
| سفر مرحله کاری | 355x125mm |
| X/Y-Axis Travel | 200x120mm |
| محور Z | 110 میلی متر |
| دقت اندازه گیری | ≤3+L/200m |
| کد# | 525-380 هزار |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (500*500) میلی متر |
| Z Axis Travel | ۳۰۰ میلی متر |
| مقیاس خطی محور X/Y/Z | وضوح: 0.1um |
| حالت هدایت | ریل راهنمای خطی دقیق |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| کد# | 524-220H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| تکرار | 2 میلی متر |
| کد# | 524-220H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| تکرار | 2 میلی متر |
| کد# | 529-120J |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (500*400) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| دقت محور XY | ≤3.0+L/200(um) |
| کد# | 529-120h |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| دقت محور XY | ≤3.0+L/200(um) |
| کد# | 529-120 گرم |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (300*200) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| دقت محور XY | ≤2.5+L/200(um) |