| کد# | 511-340 |
|---|---|
| اندازه استیج فلزی | 258x358mm |
| اندازه استیج شیشه ای | 148x256mm |
| محدوده سفر مرحله ای | 200x100 میلی متر |
| بعد محصول | 988x563x1157mm |
| کد# | 512-350 |
|---|---|
| اندازه مرحله کار | 355x126mm |
| سفر مرحله کاری | 200x100 میلی متر |
| تمرکز | 90 میلی متر |
| دقت | ≤3+L/200(um) |
| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| کد# | 510-340 |
|---|---|
| اندازه صفحه نمایش LCD | 115mm×85mm |
| وضوح صفحه نمایش LCD | 640*480 |
| محور نمایش | 3 محور (X,Y,Z/Q) |
| وضوح مقیاس خطی | 0.1um،0.2um،0.5um، 1um،2um،5um |
| کد# | 525-020P |
|---|---|
| مرحله گرانیت | (310*220) میلی متر |
| استیج شیشه ای | (179.5*129.5) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (150*100) میلی متر |
| مقیاس های خطی X/Y | وضوح: 0.5um |
| کد# | 521-120 گرم |
|---|---|
| میز کار مرمر | (458*358) میلی متر |
| میز کار شیشه ای | (356*248) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (300*200) میلی متر |
| Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
| کد# | 521-320F |
|---|---|
| میز کار مرمر | (408*308) میلی متر |
| میز کار شیشه ای | (306*198) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (۲۵۰*۱۵۰) میلی متر |
| Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
| کد# | 521-420E |
|---|---|
| میز کار مرمر | ۲۷۰*۳۵۰ میلی متر |
| میز کار شیشه ای | (142*242) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (200*100) میلی متر |
| Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
| کد# | 521-420J |
|---|---|
| میز کار مرمر | (650*580) میلی متر |
| میز کار شیشه ای | (540*440) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (500*400) میلی متر |
| Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
| کد# | 521-320H |
|---|---|
| میز کار مرمر | (608*470) میلی متر |
| میز کار شیشه ای | (456*348) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
