| کد# | 521-320H |
|---|---|
| میز کار مرمر | (608*470) میلی متر |
| میز کار شیشه ای | (456*348) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |