| کد# | 521-420E |
|---|---|
| میز کار مرمر | ۲۷۰*۳۵۰ میلی متر |
| میز کار شیشه ای | (142*242) میلی متر |
| سفر محور X/Y | (200*100) میلی متر |
| Z Axis Travel | سفر موثر 200 میلی متر |
| کد# | 524-220H |
|---|---|
| سفر محور X/Y | (400*300) میلی متر |
| Z Axis Travel | 200 میلی متر |
| X/Y/Z 3 محور مقیاس خطی ((ملی متر)) | وضوح: 0.5um |
| تکرار | 2 میلی متر |